Полный текст
Научно-исследовательский институт точного машиностроения (НИИТМ, входит в ГК «Элемент») изготовил и поставил заказчику установку эпитаксии из твёрдого источника «Эписэнд ТМ». Оборудование необходимо для выращивания эпитаксиальных структур. Его используют для нанесения сверхтолстых слоёв поликристаллического кремния методом так называемой «сэндвич»-эпитаксии. Установка обеспечивает индукционный ВЧ-нагрев до 1300 градусов Цельсия. Она способна одновременно обрабатывать до четырёх пластин диаметром 100 мм. Двухпозиционная система загрузки рассчитана на две лодочки с графитовыми платформами.Разработка собственного оборудования для эпитаксии — важный шаг на пути к технологической независимости российской микроэлектроники, отметили в компании. НИИТМ в том числе ведёт разработки в рамках комплексной программы «Развитие электронного машиностроения до 2030 года».Подобное оборудование производят лишь несколько стран мира, а поставки в Россию ограничены санкциями. Появление отечественных установок снижает зависимость от зарубежных поставщиков. В ГК «Элемент» намереваются заместить собственными разработками до 70% критически важного оборудования, где количество поставщиков ограничено одним-двумя производителями из недружественных стран.📸 НИИТМ@lithography1mm