Полный текст
В России спроектировали литограф для ускоренного выпуска чиповКоманда под руководством Евгения Гиваргизова при поддержке Национальной технологической инициативы подготовила проект электронного литографа, который должен сократить обработку кремниевой пластины с полутора-двух недель до пяти-семи минутУскорение процесса примерно в 3000 раз стало возможным благодаря множеству электронных лучей, работающих одновременно вместо одногоВ основе установки лежит мультикатод — массив независимых источников электронов на общей подложке. Импортные системы обычно расщепляют один луч сложной конструкцией из зеркал и затворов. Российский подход должен сделать оборудование дешевле, экономичнее и менее требовательным к инфраструктуреСаму технологию мультикатода уже создали и испытали, но литограф пока существует только в виде проекта. Первый опытный образец хотят собрать примерно через три года. Инженерам удалось получить источники пучков с радиусом вершины 1,5–2 нанометра — разработчики называют это одним из лучших мировых результатовУстановку рассчитывают применять для выпуска микросхем по нормам от 350 до нескольких нанометров. При успешной реализации она сможет ускорить производство чипов и снизить зависимость России от зарубежного оборудования, хотя итоговое разрешение будет зависеть и от используемых фоторезистов📸 Кремниевые пластины / Автор фото: Максим Горшенин@lithography1mm